技生产的国产DUV干式光刻机以及相应的其他配套设备。丁成军自然知道徐申学跑过来看这两座落后工艺的八寸晶圆厂,为的是什么,所以介绍的时候都是把重点放在了国产前道光刻机以及蚀刻机,后道光刻机,离子注入机等一系列仙女山控股旗下海湾科技的国产设备上。
“我们去年开始就已经产线上大规模应用海湾科技提供的DUV干式光刻机,目前主要应用于公司的多座八寸厂,同时还在部分十二寸厂里作为辅助光刻机使用!”
“先进芯片的生产过程里,为了降低综合成本,也不会所有工序都使用最先进的DUV浸润式光刻机外,而是会用DUV干式光刻机进行一些部分工序,只在必要的工序里才使用DUV浸润式光刻机的,因此哪怕是先进的十二寸厂里也有着不小的DUV干式光刻机的需求!”
“而在八寸厂里,DUV干式光刻机则是主力光刻机,我们新扩充的产线,包括新建立的两座八寸厂,都是使用海湾科技的DUV干式光刻机为主力光刻机!”
“截止到目前,我们已经在各厂里实际应用了三十六台的海湾DUV干式光刻机,在未来两年里,我们将会进一步提升,把国产海湾DUV干式光刻机的应用数量提升到一百台以上。”
“在其他设备,如蚀刻机,后道光刻机等诸多核心设备上,我们也大量采用国产光刻机!”
“这些国产设备的整体性能,虽然对ASML以及尼康的光刻机有一些差距,但是因为采购成本更低,后续维护成本也更低,因此综合下来的生产成本反而还有一些优势。”
徐申学看着工厂里正在开工的海湾科技的DUV干式光刻机,脸上露出了笑容:“这挺好的,光刻机这种核心设备,还是要自家的才稳妥,海湾科技那边的研发能力是可以的,而你们作为用户也要加大力度支持!”
“不仅仅是现在的DUV干式光刻机,还有UDV浸润式光刻机更要大力支持!”
丁成军道:“徐董你放心,这方面我们也是知道轻重的,今年五月份海湾科技开发出来了第一台样机的时候,我们就已经派遣了技术团队前往配合进行各种测试,以加快国产DUV浸润式光刻机的量产计划!”
“听技术团队反馈,进展似乎挺不错的,估计到十月份就能入驻到我们的产线进行各种生产测试,明年有望量产。”
徐申学道:“这就好!”
在看过了DUV干式光刻机后,徐申学心痒痒,所以趁着还有时间就直接跑到了海湾科技去了。
反正