从高端照相机、精密显微镜,再到军用的瞄准镜,蔡司代表着光学领域的最高水准。
而光刻机中最为核心、最为昂贵的组件,恰恰就是光学镜头系统。
因此,蔡司也是阿斯麦公司最重要、最无可替代的合作伙伴。
王坚利用自己曾在IBM工作二十二年的资历,以及在微影技术领域积攒下的声望和人脉,终于说动了一批志同道合的合作者。
为了表示诚意,也为了坚定彼此的信心,阿斯麦公司的总裁布林克先生,亲自从荷兰赶到了奥伯科亨。
同行的,还有蔡司半导体部门的技术总监,卡尔.林顿。
三个人,在这座小城郊外的一栋乡间别墅里,闭门谈了两天。
“先生们,请看这里。”
王坚站在一块巨大的白板前,用马克笔画出一个复杂的结构图。
“与目前主流的干式法相比,浸没式技术的核心,就是用液体取代空气作为镜头和晶圆之间的介质。”
他指着图上的一点。
“仅仅是这一个改变,就可以轻易突破157纳米的物理极限,从而推动摩尔定律,继续向前迈进。”
他的话语里充满了激情和自信,那是一个技术人员对自己毕生心血最纯粹的热爱。
这是一个无比美好的前景。
但布林克和林顿的脸上,却写满了现实的考量。
“王,你的设想非常美妙。”
阿斯麦总裁布林克率先开口,他的英语带着浓重的荷兰口音。
“但是我的股东们,他们看到的不是美妙的前景,而是巨大的风险。他们看到的是一个十位数起步的投资,却没有任何成功的保证。”
他摊了摊手,脸上露出一丝无奈。
“公司去年的财务报表很难看,我们正在削减开支。在这个时候,要求董事会批准这样一笔冒险的投资,难度非常大。”
蔡司的技术总监林顿也点了点头,表示赞同。
“对于我们蔡司而言,也是一样。”
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