荆州,未来科学城,“麒麟计划”
临时研中心。
夜已深,但这里依旧灯火通明,亮如白昼。
巨大的会议桌上,铺满了林承志院士那泛黄的手稿。
陆远、孙谦、赵铁锤,以及十几个第一批归队的核心研究员,全都围在这里,每个人的脸上都带着一种近乎朝圣般的专注与狂热。
他们已经在这里不眠不休地“啃”
了两天两夜。
“找到了!”
孙谦突然出一声惊呼,他指着一张写满了复杂光学公式的手稿,声音因激动而颤抖,“林老先生在十五年前,就已经推导出了浸润式光刻的技术路线!
天哪……这个思路,比vl公司公开他们的第一代浸润式光刻机,还要早整整三年!”
此言一出,整个会议室都沸腾了。
“什么?我们竟然领先了三年?”
“如果当年这个项目没有被砍掉……或许……”
所有人的目光都汇聚到那张手稿上,眼神中充满了惋惜、不甘,但更多的是一种油然而生的自豪感。
然而,陆远却泼了一盆冷水。
他指着手稿下方,那一片被红色墨水反复涂抹、最终画上一个巨大叉号的区域,沉声道:“大家看这里。
思路是领先了,但老师在最关键的一步上,卡住了。”
众人顺着他手指的方向看去,只见那片区域旁,用刚劲的笔迹写着一行小字:光源二次偏振衰减问题,无解。
此路不通。
这短短十二个字,像一桶冰水,浇熄了所有人刚刚燃起的兴奋火焰。
光源二次偏振衰减,这是光刻机核心技术中的顶级难题。
简单来说,就是当激光穿过一系列复杂的透镜组后,能量会生不可控的衰减和偏振,导致投射在硅片上的电路图案出现致命的模糊和变形。
林老先生提出了天才的构想,却被这个物理规律的“叹息之墙”
挡住了去路。
“怎么会……怎么会无解?”
一名年轻的研究员喃喃自语,他无法接受这个结论。
“不是无解,”
陆远目光如炬,他从旁边抽出另一份手稿,那上面画着一个极其复杂的机械结构草图,“老师后来放弃了在光学路径上解决问题,他试图用一个……一个匪夷所的机械矫正系统来强行补偿这种衰减。
但是,这个系统的精度要求,已经出了当时人类工业制造的极限。”
赵铁锤凑了过来,他只看了一眼那张草图,就倒吸一口凉气:“我的老天……这种微米级的同步多轴联动机械臂,还要在高频率下进行动态补偿……这……这不是机械,这是神学!”
会议室里陷入了一片死寂。
希望的大门刚刚打开一条缝,就又被一堵名为“物理规律”
和“工业极限”
的巨墙给堵死了。
“不。”
打破沉默的,依然是陆远。
他眼中闪烁着一种近乎疯狂的光芒:“老师的时代,工业制造达不到。
但是现在,二十年过去了!
德国的精密传动,日本的特种陶瓷,瑞典的轴承……世界的工业水平已经迭代了数代!
老师