5月31日下午，星源科技光学研发中心。
此时虽值假期，但负责照明系统攻坚任务的上百名研发工程师，却大多都在实验台前忙碌着。
“面形精度34皮米！”
“钼硅多层膜的表面粗糙度为46皮米！”
“光能利用率91%！”
“照明均匀性超过了98%！”
突然，测试组的一名年轻工程师大声喊道。
其他人闻声，不约而同地停下了手中工作。
“哈哈哈不积跬步，无以至千里；不积小流，无以成江海！林总，我没说错吧？这照明系统外国人能搞定，我们同样行！”
汪象朝眯起眼睛，仔细琢磨着这几组数据背后的意义。
这意味着华国半导体行业，首次掌握了完整的照明系统技术链。
一旦攻克投影物镜系统、掩膜版与掩膜台的核心技术，华国将拥有一套具备世界领先水平的反射式光学系统。
至此，距离自研EUV光刻机，已经差不多走完了三分之一的艰难路程。
这一切，还不是全靠.老板！
林南在心中暗暗思忖。
刘峰俊从庐州返回后，带回了一套工艺成熟的离子束抛光、磁流变抛光及磁控溅射技术方案。
与此同时，陈延森的科研天赋也在研发中心渐渐传开。
尽管起初大部分研究人员并不相信陈延森，但如今成果就摆在眼前，由不得他们不信。
更何况，还有刘峰俊这位当事人的佐证。
“汪工，技术文档咱们有了，但这制造任务该交给谁？是长春国科精密，还是沪城微电子装备？”
林南眉头微蹙，看向汪象朝问道。
“选沪城微电子吧，”汪象朝略一思索后说道：“他们的真空系统和抗污染技术，在国内是顶尖水平，能最大程度提升成像质量。”
汪象朝这辈子的精力都扑在了光学系统