本达不到50皮米的测量精度。
而林南和汪象朝等上百位研发工程师,已是光学赛道的佼佼者,连他们都搞不定的事,再找其他人,大概率也无济于事。
他们尽力了,只是能力有限。
陈延森心里清楚,他要是不出手,这场科研大会战多半要成为一个笑话。
他略一思索,便让林南先把离子束抛光、磁流变抛光和磁控溅射的技术文档发过来。
与此同时。
沪城,星源科技光学研发中心。
林南倚在实验台前,双眼满是红血丝,神色黯淡。
汪象朝坐在一旁,拍了拍林南的肩膀说道:“别着急,车到山前必有路,慢慢啃呗,既然方案都有了,还怕搞不定工艺问题?”
沪城光机所的一名专家点头附和道:“以前我们不需要皮米级别的抛光精度,所以技术进展就慢,现在不一样了,只要搞定照明系统的非球面反射镜,这EUV光刻机的光学系统,就等于拿下了一半的核心技术。”
话虽如此,实验室里的气氛却没怎么缓和。
林南苦笑一声,指着桌上的检测报告:“道理都懂,可现实摆在这里,我们的仪器测试精度仅有亚纳米水准,面形精度够不够,压根不知道。”
这无异于闭着眼睛走路,方向对不对都不确定,怎么提升?
燕京光电所的年轻工程师语气哽咽,一脸绝望地小声呢喃道:“难道没有国外的技术支持,我们就造不出EUV光刻机的核心部件吗?”
这话就像一根钢针,把所有人的信心都给戳破了。
“放屁!人家花了几十年积累的技术,我们才用了几天?这点耐心都没有吗?”
汪象朝猛地站起身,大声反驳道:“一个月时间,我们就把照明系统的方案推演出来了,这说明思路是对的。
我已经和长春、燕京光机所的人沟通好了,接下来大家齐头并进:咱们先攻坚投影物镜系统,等抛光和镀膜技术达标后,再整合各项技术,总能把这块硬骨头啃下来。”
他的话像一剂强心针,让实验室里低迷的气氛稍稍回暖。
林南深吸一口气,跟着站起来说道:“汪