星源科技在相继突破MDP-EUV光源、收集镜系统的技术壁垒后，瞬间成了科研界的香饽饽。
就连一些六七十岁的资深工程师也想毛遂自荐，希望可以参与其中。
陈延森并不介意“分蛋糕”，但前提得拿出...
“蔡司镀膜机的精度,在恒温恒湿环境下,确实能控制在0.05到0.1纳米之间。”设备组主任工程师回答得十分肯定。
“那问题来了。”陈延森沉声说道,“既然设备能达标,那为什么每次沉积完10层后,误差还是会有0.12到0.15纳米的波动?”
会议室陷入短暂的沉默。
“可能是沉积过程中的热应力变化导致的。”材料组的工程师推测道,“每次激光沉积都会产生局部热效应,影响后续膜层的附着均匀性。”
“那有没有办法在沉积过程中实时调整激光功率?”陈延森追问。
“理论上可以。”算法组的负责人点头,“但我们得先建立一个足够精确的反馈模型,实时采集镀膜机的数据,动态调整激光参数。”
“那就做。”陈延森果断拍板,“你们算法组牵头,设备组和材料组配合,三天内拿出一个初步的闭环控制方案。”
“三天?”算法组负责人有些迟疑,“这个模型的复杂度很高,数据量也很大……”
“我知道很难。”陈延森语气坚定,“但我们现在没时间慢慢磨。如果这个模型能成功,我们就能把沉积误差控制在0.05纳米以内,整个梯度涂层的工艺就能达到汪象朝提出的标准。”
“明白。”算法组负责人咬了咬牙,“我们拼一把。”
会议继续进行。
“关于冷管理子系统。”陈延森翻到技术文档的下一页,“文档中提到在镜体内部嵌入微通道水热结构,搭配钼合金基底,能有效解决低温损伤问题。这个方案的可行性如何?”
“我们已经做过初步模拟。”光学部的热控工程师回答,“水热通道的设计非常巧妙,水流路径呈螺旋状,既能均匀散热,又不会对镜体结构造成应力破坏。”
“那钼合金基底呢?”
“我们联系了中科院金属所,他们可以提供符合要求的钼合金样品。不过……”工程师顿了顿,“加工难