第497章 华夏开眼看李颜(3 / 5)

室里,所以他们只是隔着透明玻璃往里看。

也看不出怎么个所以然。梁总盯着看了好一会儿,实在是憋不住心里的疑惑:“李总,我问一些问题,您不要觉得有冒犯,也不是我不信任您……”

“不必如此,”李颜笑道,“交流而已,请讲。”

“这台是浸润式duv”

“是。”

“你所说的自己设计的光刻机,也是浸润式”

“是,附带成本更高昂一点的浸润系统,优化要等后续,并且大概需要一段时间的测试。”

“你意思是,你没有进行测试”

“我都没做出来,没法测试。手里只有这台东西,而且超纯水什么的,我这边也不好搞,华芯国际有现成的,我才说让你们测试。”

梁总眉头紧紧皱起,“那你怎么,就觉得自己的想法可行”

“我在脑子里跟电脑里都模拟过了,妥。虽然我的解法跟阿斯玛的做法不一定一致——我也说了,考虑到当前华夏的工业生产水平,相比起光刻机,我目前为了先做出来的方案一,更像是‘光刻房’。浸润系统的成本不是量产级别,我还需要根据实际生产的情况进行优化。”

……嘶,梁总匝巴嘴,心想姑且当李颜说的是真的,便继续问道:

“分辨率跟套刻精度呢”

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“跟阿斯玛的一样,193的波长,arfi光刻机,分辨率38n,得益于浸润式的提升,最小制程7n。”

梁总心里一边听一边狂喊“不可能”,喊得筋疲力尽。

李颜突然一拍脑袋,补充道,“当然,目前套刻精度受制于制作工艺精度,实际用起来,想要通过多重曝光达到7n制程,良品率应该不太妙。只能算是理论上没问题,实际应用的话,应该还是制程28n的芯片为主。”

“你说的要都是真的,你就是华夏这个行业的救世主。”范总用夸奖的方式把梁总心里的不可能喊了出来,“完完全全就是从无到有带领我国芯片产业往上跨了几个台阶!不可思议!”

梁总继续问,“掩模板、晶圆、光源等模组的定位与运作,你竟然能用手拆了之后复原,并且不影响他们的精度”

“梁总,要是光刻机的精度取决于安装时手抖与否,那也太低级了。就算是全机械流水线安装,大型器械的精度难道就能匹配光刻机的零件精度吗”

“那……”

“他们肯定都有互相匹配的卡位装置,就连螺丝转几圈都有具体规定,并且都留有细微的调整余量。像掩模板传送模组的精度,相比晶圆传输模组与双晶圆平台模组的精度要求也不一样,精度是可以借流程推进逐步提高的嘛。这东西内部的运作程序如何修正定位误差,才是最终成品能运作的核心问题。”李颜说道,“这种级别的精度本来就不可能光靠‘怎么放置’的机械操作保证。”

梁总听得很急,他有太多问题想问了:

“你怎么能知道螺丝转几圈这种东西”

“我拆的时候记住了。”

“就……就靠记”范总也懵逼了。

未免太离谱了吧,爽文也不能这么爽啊。

“当然不,螺丝拆了拧回去也有一定磨损,我毕竟徒

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