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第四百九十五章 华夏开眼看李颜(4 / 7)

bsp;   梁总憋着一句“这不可能”憋得很辛苦。

    “这不太好,”黄书记说道,“万一路上颠簸出了问题,到时候可搞不清楚。”

    “问题不大,”李颜摆摆手,“我到那边修就行了。”

    ……?

    石磊突然鼓起了掌,并说道,“范总,梁总,就按李颜说的来吧。测试完了能正常运转的话,我们后边争取资源就轻松多了。”

    华芯国际当然没有拒绝的理由。

    后续几个人又去研究室看了光刻机,因为光刻机本身在无菌室里,所以他们只是隔着透明玻璃往里看。

    也看不出怎么个所以然。

    梁总盯着看了好一会儿,实在是憋不住心里的疑惑:“李总,我问一些问题,您不要觉得有冒犯,也不是我不信任您……”

    “不必如此,”李颜笑道,“交流而已,请讲。”

    “这台是浸润式duv?”

    “是。”

    “你所说的自己设计的光刻机,也是浸润式?”

    “是,附带成本更高昂一点的浸润系统,优化要等后续,并且大概需要一段时间的测试。”

    “你意思是,你没有进行测试?”

    “我都没做出来,没法测试。手里只有这台东西,而且超纯水什么的,我这边也不好搞,华芯国际有现成的,我才说让你们测试。”

    梁总眉头紧紧皱起,“那你怎么,就觉得自己的想法可行?”

    “我在脑子里跟电脑里都模拟过了,妥。虽然我的解法跟阿斯玛的做法不一定一致——我也说了,考虑到当前华夏的工业生产水平,相比起光刻机,我目前为了先做出来的方案一,更像是‘光刻房’。浸润系统的成本不是量产级别,我还需要根据实际生产的情况进行优化。”

    ……嘶,梁总匝巴嘴,心想姑且当李颜说的是真的,便继续问道:

    “分辨率跟套刻精度呢?”

    “跟阿斯玛的一样,193的波长,ArFi光刻机,分辨率38nm,得益于浸润式的提升,最小制程7nm。”

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