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第327章 风起华盛顿(2 / 8)

与测量单元。

    NIL的致命弱点是缺陷率,所以佳能肯定在机器内部署了全世界最顶级的实时检测系统,用来在压印前后快速扫描晶圆,定位纳米级的颗粒和图形错误。这套技术是通用的。

    王总,我们的产线现在主要依赖离线抽检,效率低,而且很多缺陷发现时已经晚了。

    如果我们能把这套神经系统移植或复制过来,集成到现有工艺流程里,我们的良率又能爬上一个大台阶。

    无论是国产生产线,还是说用ASML的那些生产线,都能用到这个系统。”

    “最后一个,循环系统呢?”另一位李工问道。

    陈磊说:“这就是我认为最有价值,也最意想不到的部分:喷墨式精准涂胶系统。”

    他指着NIL设备中那个类似打印喷头的装置:“传统的DUV光刻,是用旋转甩胶的方式给晶圆涂上光刻胶,超过95%的昂贵光刻胶都被浪费了。

    而NIL为了精准压印,开发了类似喷墨打印的技术,需要哪里有图形,就在哪里喷涂一滴树脂,用量极省,而且均匀性可控。”

    他看向李工慢慢说道:“李工,想象一下,如果我们能把这套喷墨技术嫁接到我们的DUV产线上,用来喷涂我们自己的光刻胶。

    这意味着什么?光刻胶成本能骤降90%以上,边缘效应和甩胶不均的问题将成为历史。”

    华国人就是这样,在没有路的时候也要找到路,陷阱也要给你找出价值来。

    只是陈磊想不到的是,林燃压根想的不是拆解,而是在此基础上来重构整个光学系统。

    华盛顿特区,哈特参议院办公大楼,听证会室内,室内的空气因愤怒和焦虑而显得格外沉闷。

    商业、科学和交通委员会的所有参议员都已就座,他们身后,是挤得水泄不通的媒体记者和来自各大航空航天承包商的、西装革履的说客。

    马斯克独自一人坐在证人席上,穿着一身略显不合身的深色西装。

    “局长先生,”委员会主席,一位来自德州的象党资深参议员,语气不善地开始了质询,“这个国家的人民想知道,两周前,当华国人在月球上用核反应堆和电磁轨道,像打高尔夫一样把东西送回地球时,我们NASA在哪里?我们的月球计划在哪里?为什么我们花了纳税人上千亿美元,得到的却只有几页PPT和不

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