十亿地往里面砸钱。
“如果让我来负责这个项目,2013年Q4,先找ARM购买HKMG架构的IP授权,然后找二线厂商购买二手的NXT 1950i光刻机和配套的刻蚀、沉积设备,没必要买一手,价格太贵。
而且阿斯麦打算推出NXT 1950i的升级版,可能比不上NXE 3300B,但绝对可以生产14纳米的芯片。”
“2014年Q2,完成设备购置、人才储备培训和生产车间搭建流程;2014年Q3试产流片,完成首颗28纳米芯片的测试工作;2014年Q4把良品率提升到80%以上。”
梁劲松侃侃而谈道。
言外之意,只要资金能及时足额拨付、关键设备如期到位、核心团队顺利组建,给他15个月的时间,就能啃下28纳米制程芯片量产这块硬骨头。
前3个月用来搭建团队、梳理工艺流程,同步完成厂房洁净室的改造;
中间6个月主攻设备调试与工艺验证,反复优化光刻、蚀刻等关键环节的参数;
最后6个月进入试生产阶段,通过海量测试提升良品率,直到稳定达到量产标准。
有理有据,逻辑严密!
接下来,他又详细分享着自己的工艺方案。
比如优先选择Gate last HKMG方案而非Gate first,虽然Gate first工艺流程更简单,但Gate-last在性能均匀性上的优势更明显,Vt波动降低了30%。
Vt,即阈值电压,是晶体管导通所需的最小栅极电压。
Vt的数值越稳定,芯片的功耗和性能越好。
此外,还谈到了金属栅极集成结构、工艺窗口提升策略、良品率提升路径和技术风险应对预案等。
抛开技术层面,梁劲松在组织架构和人才培养体系也有自己的心得和经验。
陈延森微微点头。
不得不说,梁劲松的才华确实配得上500万美币的年薪。
先是带领台积电站上全球第一大晶圆代工厂的宝座,接着加入山星,先后帮其完善了28纳米和1